卡位EUV供應鏈 – EUV pellicle專利佈局分析
曾 志偉
2019年5月，ASML與三井化學簽署授權合約，將ASML的EUV光罩護膜(EUV pellicle)技術授權給三井生產。ASML是目前唯一進行量產的EUV曝光機供應商。EUV曝光機的量產帶動了新一輪…
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